Вакуумпомпи / Въздушни помпи или вакуумпомпи, въздушни компресори или компресори за други газове и вентилатори; аспирационни чадъри за изсмукване или рециркулация с вграден вентилатор, дори филтриращи.

  • - - 8414101500 80: От видовете, използвани изключително или главно за производство на полупроводници или дисплеи с плосък екран
  • - - 8414102500 10: Други
  • - - - 8414102500 80 (2/0) : Бутално-ротационни помпи, пластинкови ротационни помпи, молекулярни помпи и помпи Рутс
  • - - - 8414108100 10: Други
  • - - - - 8414108100 80 (2/0) : Дифузионни помпи, криостатни помпи и адсорбционни помпи
  • - - - - 8414108900 80 (2/0) : Други